[发明专利]具有基于MEMS技术的变抗器的锁相回路有效
| 申请号： | 201510073759.7 | 申请日： | 2015-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN104836572B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 格哈德·卡门 | 申请（专利权）人： | 罗德施瓦兹两合股份有限公司 |
| 主分类号： | H03L7/08 | 分类号： | H03L7/08;H03L7/099 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华;何月华 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有基于MEMS技术的变抗器的锁相回路(1)，所述锁相回路(1)具有相位检测器(2)和控制振荡器(4)。所述控制振荡器(4)设置有变抗器(5)。所述变抗器(5)利用MEMS技术实现。根据本发明，所述锁相回路(1)的控制带宽(BPLL)大于所述变抗器(5)的机械共振频率(fmech)。 | ||
| 搜索关键词： | 变抗器 锁相回路 控制振荡器 相位检测器 机械共振 带宽 | ||
【主权项】：
1.一种锁相回路(1)，包括：‑相位检测器(2)；以及‑控制振荡器(4)，其中所述控制振荡器(4)设置有变抗器(5)，且所述变抗器(5)利用MEMS技术实现；其特征在于，所述锁相回路(1)的控制带宽(BPLL)大于所述变抗器(5)的机械共振频率(fmech)，其中，所述变抗器(5)设置有致动器(52)，其中，所述致动器(52)的第一致动器面(52a)形成在基底(51)上；其中，所述致动器(52)的第二致动器面(52b)形成在可移动膜(53)上，其中，所述可移动膜(53)为第一可移动膜(53a)，其中，所述变抗器(5)还设置有第二可移动膜(53b)，以及其中，所述第二致动器面(52b)形成在所述第一可移动膜(53a)和所述第二可移动膜(53b)上。
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