[发明专利]集成电路有效
申请号: | 201510075969.X | 申请日: | 2012-04-28 |
公开(公告)号: | CN104733432B | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | R-H·金 | 申请(专利权)人: | 泰斯拉先进科技公司 |
主分类号: | H01L23/528 | 分类号: | H01L23/528;H01L21/768 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明涉及一种集成电路,具有一个或多个多层互连于其中,包括:一个或多个第一阶层导电件M |
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搜索关键词: | 集成电路 | ||
【主权项】:
一种集成电路,具有一个或多个多层互连于其中,包括:一个或多个第一阶层导电件MN、一个或多个第二阶层导电件MN+1以及至少一个将至少一个第二阶层导电件MN+1耦接至至少一个第一阶层导电件MN的通孔导电件VN±1/N;以及其中,该至少一个通孔导电件VN+1/N的上部分与该至少一个第二阶层导电件MN+1是自我对准的,而该至少一个通孔导电件VN+1/N的下部分与该至少一个第一阶层导电件MN是自我对准的。
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