[发明专利]一种内孔表面纳米级金刚石涂层拉丝模具的制作方法

摘要

一种内孔表面纳米级金刚石涂层拉丝模具的制作方法，首先将衬底经化学处理后，然后将衬底直接置于CVD设备反应室中用CVD气相沉积方法，经过0.5h的形核与6~7h的生长过程，以气体流量300~400毫升/分的H₂来刻蚀石墨或抑制石墨生长，以5~10%的气体流量的丙酮、甲醇混合物为碳源，两者比例为1:1，在模具内孔表面沉积一层金刚石薄膜，在生长过程结束前1~3h在反应气体中添加50~60%气体流量Ar掺杂。本发明沉积方法生长的金刚石薄膜内层为微米级薄膜，颗粒粗糙，结合力强，而外层经掺杂反应为纳米级颗粒，则颗粒细微，硬度高便于抛光加工。

主权项

一种内孔表面纳米级金刚石涂层拉丝模具的制作方法，首先将衬底经化学处理后，然后将衬底直接置于CVD设备反应室中用CVD气相沉积方法，经过0.5h的形核与6~7h的生长过程，以气体流量300~400毫升/分的H₂来刻蚀石墨或抑制石墨生长，以5~10%的气体流量的丙酮、甲醇混合物为碳源，两者比例为1:1，在模具内孔表面沉积一层金刚石薄膜，其特征在于在生长过程结束前1~3h在反应气体中添加50~60%气体流量Ar掺杂。