[发明专利]合成石英玻璃的热处理方法有效
| 申请号： | 201510085325.9 | 申请日： | 2015-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN104860521B | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 八木寿;竹内正树;原田大实 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C03B32/00 | 分类号： | C03B32/00;C03B25/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了合成石英玻璃的热处理方法。具体地，提供了用于热处理合成石英玻璃的方法，该合成石英玻璃具有最大值/最小值差异(△OH)小于350ppm的羟基浓度，该方法包括以下步骤：在1150－1060℃下保持0.5‑10小时的时间的第一热处理，以－7℃/小时至－30℃/小时的速率冷却至第二热处理温度，在1030－950℃下保持5－20小时的时间的第二热处理，和以－25℃/小时至－85℃/小时的速率退火。两阶段的热处理确保了该玻璃具有低双折射。 | ||
| 搜索关键词： | 合成 石英玻璃 热处理 方法 | ||
【主权项】：
1.用于热处理合成石英玻璃的方法，该合成石英玻璃具有最大值与最小值之间的差异(△OH)小于350ppm的羟基浓度和在中心部分中400－600ppm的羟基浓度，该方法包括以下步骤：在1150－1060℃的温度下保持一定时间的第一热处理，以一定速率冷却至第二热处理温度，在1030－950℃的温度下保持一定时间的第二热处理，第二热处理的时间为至少5小时，和以－25℃/小时至－85℃/小时的速率退火。
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