[发明专利]半导体装置的制造方法及半导体装置有效
申请号: | 201510087712.6 | 申请日: | 2015-02-25 |
公开(公告)号: | CN104979221B | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 横山岳 | 申请(专利权)人: | 富士电机株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/52;H01L23/495;H01L23/31 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 金光军;金玉兰 |
地址: | 日本神奈*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供能够抑制施加到经嵌件注塑成型的引线框的引线端子上的应力,即便使引线端子的厚度变薄也能够提高引线键合性、提高可靠性的半导体装置的制造方法及半导体装置。使用上下金属模具夹持在引线端子的接合部上形成的夹持部的夹持用突起而将树脂壳体嵌件注塑成型,使在该树脂壳体的开口部内安装了半导体元件的具有布线图案的绝缘基板嵌合到树脂壳体并进行粘接,使半导体元件与引线端子的接合部之间和/或绝缘基板上的上述布线图案与引线端子的接合部之间用键合线进行电连接。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置的制造方法,是将半导体元件收纳在通过使用至少两个金属模具的嵌件注塑成型而一体成型有引线端子的具有开口部的环状的树脂壳体内的半导体装置的制造方法,其特征在于,包括如下工序:嵌件注塑工序,将在引线端子的键合线的接合部形成且具有夹持用突起和在与所述键合线对置的位置形成的切口部的夹持部以向所述开口部的内侧突出的方式配置在所述金属模具中的一个金属模具,使用所述一个金属模具和另一个金属模具夹持该夹持用突起而将所述树脂壳体嵌件注塑成型;基板安装工序,使安装了半导体元件的具有布线图案的绝缘基板嵌合到经嵌件注塑成型的所述树脂壳体的所述开口部内并进行粘接;引线键合工序,使半导体元件与引线端子的接合部之间和/或绝缘基板上的所述布线图案与引线端子的接合部之间用键合线进行电连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士电机株式会社,未经富士电机株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510087712.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:加工装置
- 下一篇:MOS晶体管的制作方法
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造