[发明专利]一种小曲率小口径球面光学元件表面曲率半径测量方法在审
| 申请号： | 201510088108.5 | 申请日： | 2015-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN104729431A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 王占山;马爽;蒋励;沈正祥 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01B11/255 | 分类号： | G01B11/255 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 赵继明 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种小曲率小口径球面光学元件表面曲率半径测量方法，该方法利用光学轮廓仪进行测量，包括以下步骤：A、使用标准平面镜样品对光学表面轮廓仪内参考镜的表面误差进行校准；B、利用牛顿环原理对干涉图中心位置进行修正，使得测试区域中心和干涉图中心重合；C、利用光程差为零时剩余表面误差最小的原则确定零级干涉条纹所在位置；D、根据校正后的光学轮廓仪测量得到的表面轮廓信息计算球面光学元件表面曲率半径。与现有技术相比，本发明具有费用低、零损伤、易操作等优点，提高了小曲率小口径球面光学元件表面曲率半径的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曲率 小口径 球面 光学 元件 表面 半径 测量方法 | ||
【主权项】：
一种小曲率小口径球面光学元件表面曲率半径测量方法，其特征在于，该方法利用光学轮廓仪进行测量，包括以下步骤：A、使用标准平面镜样品对光学表面轮廓仪内参考镜的表面误差进行校准；B、利用牛顿环原理对干涉图中心位置进行修正，使得测试区域中心和干涉图中心重合；C、利用光程差为零时剩余表面误差最小的原则确定零级干涉条纹所在位置；D、根据校正后的光学轮廓仪测量得到的表面轮廓信息计算球面光学元件表面曲率半径。
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