[发明专利]线路布局及其间隙壁自对准四重图案化的方法

摘要

本发明是有关于一种线路布局及其间隙壁自对准四重图案化的方法。该线路布局包括：第一线路、第二线路、第三线路与第四线路。第二线路与第三线路位于第一线路与第四线路之间，且第一线路、第二线路、第三线路与第四线路分别沿着第一方向延伸。第二线路的末段以及第三线路的末段分别具有沿着第二方向延伸的第一凸出部。第二线路的末段的第一凸出部朝向第一线路凸出。第三线路的末段的第一凸出部朝向第四线路凸出。本发明借由形成具有朝向两侧凸出的辅助层的核心层，而可在使用较少次数的微影工艺的情况下，有效增加线路末端之间的间隔距离。

主权项

1.一种线路布局的间隙壁自对准四重图案化的方法，其特征在于其包括以下步骤：形成一核心层，该核心层包括：一主体层，包括一末端部，沿着一第一方向延伸；一第一辅助层，与该主体层的该末端部连接；以及两个第二辅助层，与该第一辅助层的两侧连接，且沿着一第二方向延伸；形成一第一间隙壁，在该核心层的侧壁；移除该核心层；形成一第二间隙壁与一第三间隙壁，在该第一间隙壁的侧壁，该第二间隙壁位于该第三间隙壁之中，且具有对应于该些第二辅助层的两个第一凸出部；移除该第一间隙壁；移除部分该第二间隙壁、以及部分该些第一凸出部，并进行一图案转移工艺，以形成一第一线路以及一第二线路；以及移除部分该第三间隙壁并进行一图案转移工艺，以形成一第三线路以及一第四线路，该第一线路与该第二线路位于该第三线路与该第四线路之间。