[发明专利]具有掺杂压电材料和框架元件的体声波谐振器在审

专利信息
申请号: 201510088834.7 申请日: 2015-02-26
公开(公告)号: CN104868871A 公开(公告)日: 2015-08-26
发明(设计)人: 克里斯·冯;约翰·克伊;菲尔·尼克尔;凯文·J·格伦纳;蒂娜·L·拉梅尔斯 申请(专利权)人: 安华高科技通用IP(新加坡)公司
主分类号: H03H9/17 分类号: H03H9/17
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 林斯凯
地址: 新加坡*** 国省代码: 新加坡;SG
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摘要: 发明涉及具有掺杂压电材料和框架元件的体声波谐振器。一种体声波BAW谐振器包含第一电极、第二电极和安置于所述第一电极与所述第二电极之间的压电层。所述压电层包含掺杂有至少一种稀土元素的压电材料。在一实施例中,所述BAW谐振器包含安置于所述第一电极和所述第二电极中的至少一者的表面上的凹陷框架元件。在另一实施例中,所述BAW谐振器包含安置于所述第一电极和所述第二电极中的至少一者的表面上的凸起框架元件。在又其它实施例中,所述BAW谐振器包含所述凸起框架元件与所述凹陷框架元件两者。
搜索关键词: 具有 掺杂 压电 材料 框架 元件 声波 谐振器
【主权项】:
一种体声波BAW谐振器,其包括:第一电极;第二电极;安置于所述第一电极与所述第二电极之间的压电层,所述压电层包括掺杂有至少一种稀土元素的压电材料;以及安置于所述第一电极和所述第二电极中的至少一者的表面上的凹陷框架元件。
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