[发明专利]一种用于借助于X射线荧光进行测量对象的测量的方法

摘要

一种用于借助于X射线荧光进行测量对象的测量的方法。该方法包括检测测量对象的测量表面的横向尺寸，将测量对象的测量表面的横向尺寸与出现在测量对象上的初级射束的测量光斑的尺寸相比较，为了确定小于测量光斑的测量对象的测量表面的尺寸，选择网格表面的尺寸，其覆盖测量对象的至少测量表面，根据网格表面的尺寸与测量对象的测量表面的尺寸的比来确定比例因数α，从相应网格部分表面（1…n）将次级辐射的所检测光谱相加、求平均值并随后乘以比例因数α，并提供用比例因数α进行修正的来自网格部分表面（1…n）的次级辐射的光谱以用于定量评估。

主权项

1.一种用于借助于X射线荧光进行的测量对象（24）的测量或测量对象（24）的元素浓度的确定的方法，－ 其中，将初级射束（22）从X射线辐射源（21）指引到测量对象（24）上，－ 其中从测量对象（24）发射的次级辐射（26）被检测器（27）检测并被中继到评估设备（29），－ 其中，初级射束（22）在被划分成网格部分表面（1…n）以及被再分成至少一个行（Z1至Zn）和至少一个列（S1…Sn）的网格表面（31）内被移动，并且将初级射束（22）指引到用于每个网格部分表面（1…n）的网格表面（31）上，并且初级射束（22）的测量光斑（36）至少填充网格部分表面，其特征在于，－ 检测测量对象（24）的测量表面（25）的横向尺寸，－ 将测量对象（24）的测量表面（25）的横向尺寸与出现在测量对象（24）上的初级射束（22）的测量光斑（36）的尺寸相比较，－ 在确定小于测量光斑（36）的测量对象（24）的测量表面（25）的尺寸期间，选择网格表面（31）的尺寸，其至少覆盖测量对象（24）的测量表面（25），－ 根据网格表面（31）的尺寸与测量对象（24）的测量表面（25）的尺寸的比来确定比例因数α，－ 从相应的网格部分表面（1…n）将次级辐射（26）的所检测光谱相加、求平均值且随后乘以比例因数α，以及－ 提供用比例因数α进行修正的来自网格部分表面（1…n）的次级辐射（26）的光谱以用于定量评估。