[发明专利]滤光器、光学模块及电子设备在审
申请号: | 201510090065.4 | 申请日: | 2015-02-27 |
公开(公告)号: | CN104880817A | 公开(公告)日: | 2015-09-02 |
发明(设计)人: | 新东晋;北原浩司;坂下友树 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供了滤光器、光学模块及电子设备,该滤光器具备:固定基板(14);可动部(13b),与固定基板(14)对向配置;固定反射膜(44),设置于固定基板(14),使光(28)的一部分反射一部分透过;可动反射膜(35),设置于可动部(13b),与固定反射膜(44)对向,使光(28)的一部分反射一部分透过;静电致动器(50),控制固定反射膜(44)和可动反射膜(35)的间隔,固定反射膜(44)被导电膜(38)和保护膜(45)夹着,导电膜(38)和保护膜(45)为相同材质、相同膜厚。并且,可动反射膜(35)被导电膜(32)和保护膜(36)夹着,导电膜(32)和保护膜(36)为相同材质、相同膜厚。 | ||
搜索关键词: | 滤光 光学 模块 电子设备 | ||
【主权项】:
一种滤光器,其特征在于,具备:固定基板;可动部,与所述固定基板对向配置;第一反射膜,设置于所述固定基板;第二反射膜,设置于所述可动部,所述第二反射膜与所述第一反射膜对向;以及间隔控制部,控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔,所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个被第一导电膜和第二导电膜夹着,所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同材质、相同膜厚。
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