[发明专利]紧凑型三维存储器有效
申请号: | 201510090124.8 | 申请日: | 2015-02-28 |
公开(公告)号: | CN104978990B | 公开(公告)日: | 2017-11-10 |
发明(设计)人: | 张国飙 | 申请(专利权)人: | 成都海存艾匹科技有限公司 |
主分类号: | G11C11/16 | 分类号: | G11C11/16;G11C5/02;H01L27/102 |
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地址: | 610041 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提出一种紧凑型三维存储器(3D‑MC)。通过在地址线上形成简易开关器件,接触通道孔可以被同一存储层中、或者不同存储层中的地址线共享。这使接触通道孔变得更稀疏,以实现稀疏通道孔。稀疏通道孔对三维集成电路(3D‑IC)的实现有重要意义。 | ||
搜索关键词: | 紧凑型 三维 存储器 | ||
【主权项】:
一种紧凑型三维存储器(3D‑MC),其特征在于含有:一半导体衬底(0);至少一堆叠在该半导体衬底(0)上的第一存储层(10),该第一存储层含有:连续且导电的的第一x地址线(11a)和第二x地址线(11c);一连续且导电的、与该第一和第二x地址线(11a, 11c)交叉的y地址线(12a),至少一存储器件(1aa)形成在交叉处;一连续且导电的、与该第一和第二x地址线(11a, 11c)交叉的第一控制线(17a),一第一开关器件(3aa)形成在该第一控制线(17a)与该第一x地址线(11a)的交叉处,该第一开关器件(3aa)在第一模式下阻挡该第一x地址线(11a)中的电流流动,在第二模式下允许该第一x地址线(11a)中的电流流动;一连续且导电的、与该第一和第二x地址线(11a, 11c)交叉的第二控制线(17b),一第二开关器件(3cb)形成在该第二控制线(17b)与该第二x地址线(11c)交叉处,该第二开关器件(3cb)在第三模式下阻挡该第二x地址线(11c)中的电流流动,在第四模式下允许该第二x地址线(11c)中的电流流动;一与该半导体衬底(0)耦合的接触通道孔(13ac),该第一x地址线(11a)通过该第一开关器件(3aa)与该接触通道孔(13ac)耦合,该第二x地址线(11c)通过该第二开关器件(3cb)与该接触通道孔(13ac)耦合。
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