[发明专利]滤光器、光学模块、电子设备及滤光器的制造方法在审
| 申请号： | 201510090491.8 | 申请日： | 2015-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN104880818A | 公开（公告）日： | 2015-09-02 |
| 发明（设计）人： | 坂下友树;新东晋;北原浩司 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了滤光器、光学模块、电子设备及滤光器的制造方法，该滤光器具备：固定基板(14)；可动部(13b)，与固定基板(14)对向配置；固定反射膜(44)，设置于固定基板(14)，使光(28)的一部分反射一部分透过；可动反射膜(35)，设置于可动部(13b)，与固定反射膜(44)对向，使光(28)的一部分反射一部分透过；控制部(27)，控制固定反射膜(44)和可动反射膜(35)的间隔，在固定反射膜(44)和固定基板(14)之间设置有导电性的导电膜(38)，在导电膜(38)上设置有反射膜端子(41)，在可动反射膜(35)和可动部(13b)之间设置有导电性的导电膜(32)，在导电膜(32)上设置有第三端子(17)。 | ||
| 搜索关键词： | 滤光 光学 模块 电子设备 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种滤光器，其特征在于，具备：固定基板；可动部，与所述固定基板对向配置；第一反射膜，设置于所述固定基板；第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔，在所述第一反射膜和所述第二反射膜之间设置有导电性的第一基膜，在所述第一基膜上设置有第一配线，在所述第二反射膜和所述可动部之间设置有导电性的第二基膜，在所述第二基膜上设置有第二配线。
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