[发明专利]一种新型单坩埚e型电子枪的结构在审
| 申请号： | 201510092135.X | 申请日： | 2015-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN104630721A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 赵学琴;张勇 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;陈亮 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型单坩埚e型电子枪的结构，所述e型电子枪的坩埚中心与灯丝中心的位置由灯丝中心与坩埚中心的水平距离l、电子轨迹最高点与极靴上端面的距离h、电子运动轨迹半径R共同决定。采用该结构的电子枪功率高、容量大、性能稳定，提高了电子枪的蒸发效率，为用户提供更可靠的设备，既提高工作效率也提高收益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 坩埚 电子枪 结构 | ||
【主权项】：
一种新型单坩埚e型电子枪的结构，其特征在于，所述e型电子枪的坩埚中心与灯丝中心的位置由灯丝中心与坩埚中心的水平距离l、电子轨迹最高点与极靴上端面的距离h、电子运动轨迹半径R共同决定，其中：![]()
且l＝(60％‑70％)L，L为所述e型电子枪两平板形极靴之间的宽度；所述R由以下公式获得：![]()
其中U为所述e型电子枪的加速电压，B为磁场强度。
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