[发明专利]制造装置管理系统以及制造装置管理方法

摘要

本发明提供一种制造装置管理系统以及制造装置管理方法。实施方式所涉及的制造装置管理系统包括不合格率检测部、明显误差检验部、以及不合格判定部。所述不合格率检测部提取具有第1不合格率的第1装置通过履历。所述不合格率检测部检测从所述第1装置通过履历除去了具有第2不合格率的第2装置通过履历的第3不合格率。所述明显误差检验部算出明显误差检验值。所述不合格判定部基于所述第3不合格率和所述明显误差检验值提取第3装置通过履历。

主权项

一种制造装置管理系统，具备：不合格率检测部，提取在一个工序中具有第1不合格率的第1装置通过履历，并检测在所述第1装置通过履历中除去了第2装置通过履历后的履历的不合格率即第3不合格率，所述第2装置通过履历是在所述一个工序以外的其他工序中具有第2不合格率的装置通过履历；明显误差检验部，基于有无不合格图案来算出明显误差检验值；以及不合格判定部，基于所述第3不合格率和所述明显误差检验值，从所述第1装置通过履历的除去了所述第2装置通过履历后的履历中提取第3装置通过履历。