[发明专利]一种两自由度运动真空吸盘管线结构有效
| 申请号： | 201510094791.3 | 申请日： | 2015-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN104678717B | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 宋耀东;项宗齐;王晓光 | 申请（专利权）人： | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230601 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种两自由度运动真空吸盘管线结构，包括气管、转接头、滑轨、滑块、拖链，气管可随真空吸盘实现在X和Y方向两自由度运动。本发明结合微分思想采用短截气管实现真空吸盘沿X方向运动所有气管总形变量不变及真空吸盘Y方向运动时拖链约束原理，实现对气管运动的约束限制，保证机台正常工作。本发明结构简单，设计合理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 运动 真空 吸盘 管线 结构 | ||
【主权项】：
一种两自由度运动真空吸盘管线结构，该结构设置在机台上，包括真空吸盘，其特征在于：所述真空吸盘正下方设有支撑板，所述支撑板设置在机台上，所述真空吸盘下表面中间安装有装接头，所述支撑板上表面左右两侧分别设有滑轨，所述滑轨中间分别设有转接头，所述支撑板左右两端亦设有转接头，各转接头之间连接有短截气管，还包括拖链一和拖链二，所述拖链一的一端和拖链二的一端分别固定在支撑板端上，拖链一的另一端和拖链二的另一端分别固定在机台上，所述拖链一上固定有气管一，拖链二上固定有气管二。
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