[发明专利]磁传感器以及电流传感器有效
申请号: | 201510097626.3 | 申请日: | 2015-03-05 |
公开(公告)号: | CN104730474B | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 钟小军 | 申请(专利权)人: | 上海兴工微电子有限公司 |
主分类号: | G01R33/07 | 分类号: | G01R33/07;G01R19/00 |
代理公司: | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人: | 孙佳胤;董琳 |
地址: | 201204 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种磁传感器以及电流传感器。所述磁传感器包括半导体衬底,设置于半导体衬底表面的第一磁敏元件、第二磁敏元件、第三磁敏元件和第四磁敏元件,每个磁敏元件上各自设置一对偏置电极和一对采样电极,所述偏置电极用于在磁敏元件上引入一偏置电流,所述采样电极用于采样由所述偏置电流和一环境磁场共同作用而产生的一霍尔电压,所述四个磁敏元件上的偏置电流方向依次呈90度角。本发明的优点在于,通过设置多个磁敏元件,彼此的电流呈现90角,能够降低磁敏元件自身由于扩散角度不一致,厚薄不一致而造成的偏差。 | ||
搜索关键词: | 传感器 以及 电流传感器 | ||
【主权项】:
1.一种磁传感器,包括半导体衬底,其特征在于,进一步包括设置于半导体衬底表面的四个以上的磁敏元件,每个磁敏元件的表面各自设置一对偏置电极和一对采样电极,所述偏置电极用于在磁敏元件上引入一偏置电流,各个磁敏元件上的偏置电流方向依次呈360/n度角,n为磁敏元件的数量;所述采样电极用于采样由所述偏置电流和一环境磁场共同作用而产生的一霍尔电压,且各个磁敏元件的采样电极之间相互独立,用于单独输出未经处理的霍尔电压。
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