[发明专利]微机电元件有效
| 申请号： | 201510099283.4 | 申请日： | 2015-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN105984828B | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 吴嘉昱;罗烱成 | 申请（专利权）人： | 立锜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01P15/125 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 陈肖梅,谢丽娜 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微机电元件，其中包含一基板；一质量块，包含一外框以及至少一内部凸出部，其中该外框的内部定义出一中空结构，而该内部凸出部与该外框直接连接、且自该外框向内延伸；至少一弹簧，位于该中空结构内，与该至少一内部凸出部对应地直接连接；一锚点，位于该中空结构内，与该至少一弹簧直接连接、且该锚点连接于该基板；多个活动电极，与质量块连接并位于中空结构内；以及多个固定电极，对应于多个活动电极而设置，并通过多个固定部以连接于基板。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 元件 | ||
【主权项】：
一种微机电元件，其特征在于，包含：一基板；一质量块，包含一外框以及至少一内部凸出部，其中该外框的内部定义出一中空结构，而该内部凸出部与该外框直接连接、且自该外框向内延伸；至少一弹簧，位于该中空结构内，与该至少一内部凸出部对应地直接连接；一锚点，位于该中空结构内，与该至少一弹簧直接连接、且该锚点连接于该基板；多个活动电极，与质量块连接并位于中空结构内；以及多个固定电极，对应于多个活动电极而设置，并通过多个固定部以连接于基板；其中，该微机电元件于该中空结构内仅包含单一锚点，且该质量块的该至少一内部凸出部通过该至少一弹簧以及该单一锚点，连接于该基板。
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