[发明专利]基于真空室的真空紫外光源测试系统

摘要

本发明属于紫外光源测试技术领域，具体为一种基于真空室的真空紫外光源测试系统。本发明测试系统，包括一个真空室、真空泵、灯架和紫外辐射测试设备等。真空室采用金属材料制成，内表面进行黑化处理；真空室通过法兰与真空泵连接，同时有一个充气阀与一个放气阀，可以向真空室内填充高纯氮气、氩气等不吸收紫外和真空紫外的气体，并装配有测量低真空度的电阻规、测量高真空度的电离规和测量水蒸气、氧气含量的探头；真空室用法兰封装恒温水浴的水管以控制光源的冷端温度；采用紫外辐照度计和光纤来测量真空紫外和200nm以上紫外辐射；与真空单色仪的入射缝法兰连接，组成联合测试系统，同时测定各类真空紫外光源的相对光谱功率分布、绝对辐射功率和辐射效率。

主权项

一种基于真空室的真空紫外光源测试系统，其特征在于：包括一个真空室、真空泵、紫外辐射测试设备和灯架，其中：所述的真空室用金属材料制成，形状为圆柱体或圆台；真空室的内表面进行黑化处理；真空室的门是球冠或抛物面形状；真空室装配有若干个法兰、一个充气阀、一个放气阀；真空室通过一法兰与真空泵连接；真空室的充气阀通过管道与压缩气体钢瓶或气体源管道相连，用于向真空室内填充高纯氮气、氩气不吸收紫外和真空紫外的气体；所述紫外辐射测试设备包括若干紫外辐照度计、光纤、真空单色仪；所述灯架位于真空室内，为固定式或旋转式，可将多根线形光源依次旋转对准探头和光纤。