[发明专利]半导体器件及其制造方法在审
申请号: | 201510100814.7 | 申请日: | 2010-11-04 |
公开(公告)号: | CN105047571A | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 福原和矢;吉富清敬;池上武彦;川副祐二朗 | 申请(专利权)人: | 瑞萨电子株式会社 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/495 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华;张宁 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: |
公开了一种允许减少成本的半导体器件。在半导体芯片的电极焊盘和对应内引线通过多个键合接线相互电耦合的半导体封装中,使感测接线(第二和第四键合接线)比其它键合接线(第一和第三键合接线)更细,这些其它键合接线耦合到与感测接线耦合到的内引线相同的内引线,由此减少金接线的成本以达到减少半导体封装的成本。 |
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搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种制造半导体器件的方法,包括如下步骤:在引线框的芯片安装区域之上安装半导体芯片,所述半导体芯片具有多个电极焊盘,所述引线框具有所述芯片安装区域和引线;经由键合接线耦合所述引线框的所述引线和所述半导体芯片的所述电极焊盘;以及使用树脂密封每个所述引线的一部分、所述键合接线和所述半导体芯片,其中所述键合接线包括将所述引线中的第一引线与所述电极焊盘中的第一电极焊盘耦合的第一键合接线,以及将所述第一引线与所述电极焊盘中的第二电极焊盘耦合的第二键合接线;所述第二键合接线的直径小于所述第一键合接线的直径;以及在所述第一键合接线与所述第一引线耦合之后,所述第二键合接线与所述第一引线耦合。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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