[发明专利]坩埚隔绝层的制造方法及其所应用的喷涂装置

摘要

本发明提供一种坩埚隔绝层的制造方法及其所应用的喷涂装置，所述方法包括如下步骤提供喷涂装置，以供下述喷涂步骤使用；加热坩埚并测量其温度，以得到喷涂前温度；采用喷涂单元依照预设喷涂手段将浆料喷涂在坩埚内壁面，以在坩埚内壁面成形隔绝层；测量隔绝层以得到喷涂后温度；取得坩埚在喷涂前后温度的实际差值，并判断实际差值是否落入预设差值范围，其中，预设差值范围为6℃至12℃，当实际差值未落入预设差值范围，则变更预设喷涂手段；当实际差值落入预设差值范围，则对该坩埚重复上述的喷涂步骤。

主权项

一种坩埚隔绝层的制造方法，其特征在于，包括如下步骤： 一准备步骤：提供一喷涂装置，以供喷涂步骤使用；其中，所述喷涂装置包含一处理单元、一电连接于所述处理单元的测温单元、及一电连接于所述处理单元的喷涂单元；以及多个喷涂步骤，所述喷涂步骤包括： A）将一坩埚设置在一预设位置上； B）加热所述坩埚，并采用所述测温单元测量所述坩埚内壁面的温度，以得到一喷涂前温度； C) 采用所述喷涂单元依照一预设喷涂手段将一浆料朝向所述坩埚内壁面进行喷涂，以成形一隔绝层； D) 采用所述测温单元测量所述坩埚内壁面上的所述隔绝层，以得到一喷涂后温度；及 E）采用所述处理单元计算所述喷涂前温度以及所述喷涂后温度，以取得所述坩埚在喷涂前后温度的一实际差值，并判断所述实际差值是否落入一预设差值范围； 其中，所述预设差值范围为6℃至12℃，当所述实际差值未落入所述预设差值范围，则所述处理单元传输一调整信号至所述喷涂单元，以变更所述预设喷涂手段；当所述实际差值落入所述预设差值范围，则对所述坩埚重复上述喷涂步骤C）~E），直到所述坩埚内壁面上堆栈形成的所述隔绝层达到一预定厚度。