[发明专利]位置敏感型智能气足

摘要

位置敏感型智能气足，属于气悬浮及传感器技术领域。本发明是为了解决对气足的自身位移测量需要安装测量装置或仪器，造成系统复杂及成本高的问题。它的气足基板的上表面上设置有环形气腔，上表面为与封气板相连接的表面，气足基板的下表面上均匀设置有N个气流通孔，每个气流通孔与环形气腔相连通，N个气流通孔的中轴线分别对应于环形气腔的中心；每个气流通孔的底端过盈配合一个节流嘴；环形气腔的内环侧和外环侧分别通过一个设置于封气板和气足基板之间的O型密封圈密封；气足基板的中心位置设置有上空腔和下空腔，上空腔和下空腔相连通，上空腔内放置处理电路板，下空腔内放置光电位置敏感器。本发明为一种气悬浮气足。

主权项

一种位置敏感型智能气足，其特征在于，它包括封气板(1)、气足基板(2)、紧固件(3)、处理电路板(4)、光电位置敏感器(5)、N个节流嘴(6)和两个O型密封圈(7)，N＝3,4,5,6,7,8,9；封气板(1)和气足基板(2)通过紧固件(3)连接在一起；气足基板(2)的上表面上设置有环形气腔(2‑1)，上表面为与封气板(1)相连接的表面，气足基板(2)的下表面上均匀设置有N个气流通孔(2‑2)，每个气流通孔(2‑2)与环形气腔(2‑1)相连通，N个气流通孔(2‑2)的中轴线分别对应于环形气腔(2‑1)的中心；每个气流通孔(2‑2)的底端过盈配合一个节流嘴(6)；环形气腔(2‑1)的内环侧和外环侧分别通过一个设置于封气板(1)和气足基板(2)之间的O型密封圈(7)密封；气足基板(2)的中心位置设置有上空腔和下空腔，上空腔和下空腔相连通，上空腔内放置处理电路板(4)，下空腔内放置光电位置敏感器(5)；光电位置敏感器(5)用于敏感其本身相对于气浮平台运动产生的位移量，并对所述位移量进行处理，输出运动位移增量；处理电路板(4)用于对光电位置敏感器(5)输出的运动位移增量进行处理，并输出所述气足相对于气浮平台(8)的位移量。