[发明专利]太阳能电池表面钝化方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池表面钝化方法，通过对电池的N型面采用T-SiO2/SiNx叠层膜进行钝化，使N型面具有很好的钝化性能，并可利用SiNx的场效应钝化和化学钝化作用进一步提高N型面的钝化效果；并且，通过对电池的P型面采用T-SiO2/P-SiO2/SiNx叠层膜进行钝化，在T-SiO2很好的钝化性能基础上，再通过增加的P-SiO2，可利用SiNx的化学钝化作用进一步提高P型面的钝化效果，并可有效消除SiNx固定正电荷场效应对P型面的负面影响。本发明方法中的热氧化可以采用传统晶硅电池生产线的扩散炉进行，不需要增加新设备，适合规模化高效生产。

主权项

一种太阳能电池表面钝化方法，其特征在于，包括：步骤S01：提供一太阳能电池晶体硅衬底，在所述衬底的上、下表面分别形成N+层、P+层；步骤S02：在所述衬底的N型面、P型面采用双面热氧化法沉积第一SiO2薄膜；步骤S03：在所述衬底的P型面采用PECVD法沉积第二SiO2薄膜；步骤S04：在所述衬底的P型面采用PECVD法沉积SiNx薄膜；步骤S05：在所述衬底的N型面采用PECVD法沉积SiNx薄膜。