[发明专利]低温泵及低温泵的再生方法有效
申请号: | 201510104807.4 | 申请日: | 2015-03-10 |
公开(公告)号: | CN104929897B | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 及川健 | 申请(专利权)人: | 住友重机械工业株式会社 |
主分类号: | F04B37/08 | 分类号: | F04B37/08 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司44202 | 代理人: | 温旭,郝传鑫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种低温泵及低温泵的再生方法,本发明的课题在于,在低温泵的再生中使低温泵有效地升温。本发明的低温泵的再生方法具备如下工序向低温泵供给吹扫气体以使低温板加热至高于水的融点的第1温度域;当低温板温度处于第1温度域时,停止向低温泵供给吹扫气体;将低温板从第1温度域加热至高于吹扫气体温度的第2温度域。 | ||
搜索关键词: | 低温泵 再生 方法 | ||
【主权项】:
一种低温泵,其特征在于,具备:低温板;低温泵容器,容纳所述低温板;排气阀,设置于所述低温泵容器内且用于向所述低温泵容器供给吹扫气体;与上述吹扫气体不同的热源,其用于加热所述低温板;及控制部,控制低温泵的再生,所述控制部构成为执行以下工序:打开所述排气阀,使吹扫气体供给所述低温泵容器,以使所述低温板加热至高于水的融点的第1温度域;当低温板温度处于所述第1温度域时,关闭所述排气阀,停止向所述低温泵容器供给所述吹扫气体;及控制所述热源,使所述低温板从所述第1温度域加热至高于吹扫气体温度的第2温度域。
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