[发明专利]一种硒蒸汽的制备装置及制备方法

摘要

本发明适用于硒蒸汽制备技术领域，公开了一种硒蒸汽的制备装置，其包括底座、设于底座上的箱体、设于箱体内的硒固体加热装置，箱体上设置有用于抽真空用的排气口及用于填充氮气的进气口；硒固体加热装置包括具有内腔的加热罐、缠绕于加热罐外壁上的加热丝，硒蒸汽的制备装置还包括与加热罐的内腔相连通的硒蒸汽应用模块，加热罐上设有第一控制阀，以控制加热罐与硒蒸汽应用模块之间的通断状态；加热罐上连通有一用于向加热罐内填充氮气的进气管。本发明中，其通过于密封箱体内设置加热罐，加热罐内可将硒固体蒸发成硒蒸汽,并于箱体内填充氮气，从而使得加热罐可被氮气层包围，为硒蒸汽提供较安全的防护措施,从而可安全有效地制备硒蒸汽。

主权项

一种硒蒸汽的制备装置，其特征在于，包括底座、设于所述底座上的箱体、设于所述箱体内的硒固体加热装置，所述箱体上设置有一用于抽真空用的排气口及一用于向所述箱体内填充氮气的进气口；所述硒固体加热装置包括具有内腔的加热罐、均匀缠绕于所述加热罐外壁上的加热丝，所述硒蒸汽的制备装置还包括与所述加热罐的内腔相连通的硒蒸汽应用模块，所述加热罐上设有一第一控制阀，以控制所述加热罐与所述硒蒸汽应用模块之间的通断状态；所述加热罐上连通有一用于向所述加热罐内填充氮气的进气管，所述加热罐上还设置有一第二控制阀，以控制所述进气管与所述加热罐的通断状态；所述加热罐和所述硒蒸汽应用模块通过通气导管连通；所述加热罐内设置竖直导管，所述竖直导管的一端与所述通气导管连通。