[发明专利]一种晶圆片测试数据处理方法及装置有效
| 申请号： | 201510105709.2 | 申请日： | 2015-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN106033210B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 詹祥宇 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/18 | 分类号： | G05B19/18;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种晶圆片测试数据处理方法及装置，本发明实施例通过获取第N个批次中的每一片晶圆片的编号和测试数据；检测所述第N个批次中每一片晶圆片的编号与预存的编号是否一致，若否，则做出异常提示，并禁止作业流程后流；获取测试达标规则，判断所述每一片晶圆片的测试数据是否符合所述测试达标规则，若否，则做出异常提示，并禁止作业流程后流。发明实施例实现了在生产工序过程中的各个工步对各个批次的晶圆片的测试数据进行分析，从而为后续工步得到合格的晶圆片测试数据结果提供了可靠的保证，并且具有较高的实时性和较强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 测试 数据处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆片测试数据处理方法，其特征在于，该方法包括：获取第N个批次中的每一片晶圆片的编号和测试数据；检测所述第N个批次中每一片晶圆片的编号与预存的编号是否一致，若否，则做出异常提示，并禁止作业流程后流；获取测试达标规则，判断所述每一片晶圆片的测试数据是否符合所述测试达标规则，若否，则做出异常提示，并禁止作业流程后流。
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