[发明专利]磁控管组件及磁控溅射设备有效
| 申请号： | 201510108417.4 | 申请日： | 2015-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN106032569B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 武学伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种磁控管组件及磁控溅射设备。该磁控管组件包括安装体和多个磁柱，安装体采用不导磁材料制成，多个磁柱内嵌在安装体内，且按照预设规则排布。本发明提供的磁控管组件，其可以避免发生磁柱脱落的问题和简化磁控管组件的安装，从而可以提高磁控管组件和磁控溅射设备的可靠性；而且还可以实现磁柱的排布方式不外露，不易被他人可见，从而可以降低磁控溅射设备的磁柱排布方式被他人模仿使用的风险性。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控管 组件 磁控溅射 设备 | ||
【主权项】：
1.一种磁控管组件，其特征在于，包括安装体和多个磁柱，所述安装体采用不导磁材料制成；所述多个磁柱内嵌在所述安装体内，且按照预设规则排布；所述安装体包括基体和盖板，所述基体和盖板均采用不导磁材料制成；所述基体的一侧表面上设置有盲孔，所述盲孔的数量不少于所述磁柱的数量，每个所述盲孔的尺寸与所述磁柱的尺寸匹配，用以容纳所述磁柱；所述盖板固定在所述基体的设置有盲孔的表面上，用以同时封闭所有的盲孔。
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