[发明专利]一种射频变容器的统计建模方法

摘要

本发明的射频变容器的统计建模方法，包括确定器件建模需要抽取的所有模型参数；对参数进行分类；对器件进行散射参数测试，建立器件的不包含工艺波动的基准模型；得到器件散射参数在整个晶圆上的波动特性，确定波动数据部分；基于波动数据部分的散射参数以及由散射参数转换而来的网络参数，构造用于器件进行统计建模的指标；基于该指标，计算子电路模型中各元件值，并进行元件值相对于指标值的灵敏度分析并排序，选取灵敏度最高的元件；对元件可伸缩公式中的各类参数群，分别进行参数值对于元件值的灵敏度分析并排序；选取灵敏度最高的参数，拟合器件的统计特性分布，得到器件全局波动分布的统计模型。本发明的建模过程快速清晰。

主权项

一种射频变容器的统计建模方法，所述射频变容器分布于晶圆的晶粒上，其特征在于，包括以下步骤：步骤01：确定用于器件建模的子电路拓扑结构，确定所述子电路中每一个电路元件使用的可伸缩性公式，以用于不同尺寸器件的建模，从而确定器件建模需要抽取的所有模型参数；步骤02：对参数进行分类，分为基本参数群，与外加偏置相关的参数群，与器件尺寸相关参数群，以及与工艺波动无关的参数群；步骤03：基于射频建模要求，对器件进行散射参数测试，首先选择部分关键尺寸器件进行散射参数的mapping测试，即对所有晶粒内的所选尺寸器件都进行散射参数测试，分析散射参数的mapping测试数据，得到器件散射参数在整个晶圆上的波动特性，通过观察不同工作频率下的散射参数分布，不同外加偏置下的散射参数分布，散射参数不同分量的分布，确定所述测试数据中具有波动性或离散性的特征数据部分；步骤04：对所有晶粒内的上述特征数据计算平均值，选出所测器件的特征数据最靠近该平均值所对应的晶粒为最佳晶粒golden die，并测试该最佳晶粒golden die内所有待测器件的散射参数，以该最佳晶粒golden die的器件测试数据为拟合目标，抽取所述步骤01中的所述模型参数，建立器件的不包含工艺波动的基准模型；步骤05：基于所述特征数据部分的散射参数以及由散射参数转换而来的网络参数，构造用于器件进行统计建模的一个或一组指标；步骤06：基于上述指标和步骤04中的基准模型，计算子电路模型中各元件值，并进行元件值相对于指标值的灵敏度分析并排序，然后选取灵敏度最高的元件；步骤07：基于所选取的元件，对所述步骤02中的所述元件可伸缩公式中的各类参数群，分别进行参数值相对于元件值的灵敏度分析并排序，选取灵敏度最高的参数；步骤08：基于所选取的参数，拟合器件的统计特性分布，从而得到用于表征器件全局波动分布的统计模型。