[发明专利]在玻璃容器内壁形成多层阻隔性薄膜的工艺和设备

摘要

本发明涉及一种在玻璃容器内壁形成多层阻隔性薄膜设备，其包括机座、输气管道、微波密封罩、天线、模式转换器、调配器、波导管、脉冲微波发生源。同时还提供与此设备对应的工艺，抽真空，经输气管道通入氧气到微波密封罩内，脉冲微波发生源产生的高功率脉冲微波经过波导管导入到模式转换器，在调配器的调谐下经过天线，并均匀的进入到真空的玻璃容器内部；向玻璃容器内先后通入多种特殊气体，并电离特殊气体，生成致密、均匀的氧化薄膜，并使得不同纳米级厚度的氧化薄膜交替沉积于玻璃容器内壁。通过使用此设备和工艺，可对复杂的玻璃容器的内壁进行镀膜，提高了产品的使用寿命，提高了沉积效率，降低了生产成本，提高了膜层附着力和均匀性。

主权项

一种在玻璃容器内壁形成多层阻隔性薄膜的设备，用于为玻璃容器的内壁形成多层阻隔性薄膜，其特征在于，包括：机座、输气管道、微波密封罩、天线、模式转换器、调配器、波导管、脉冲微波发生源；所述玻璃容器收容于所述微波密封罩内，所述微波密封罩置于所述机座上，所述输气管道与所述微波密封罩贯通，所述脉冲微波发生源通过所述波导管与所述模式转换器连通，所述脉冲微波发生源用于产生高功率脉冲微波，所述高功率脉冲微波经过所述波导管导入到所述模式转换器，且所述高功率脉冲微波在所述调配器的调谐下经过所述天线，并均匀的进入到所述玻璃容器的内部；在玻璃容器内壁形成多层阻隔性薄膜的设备还包括真空泵，所述真空泵设于所述输气管道上。