[发明专利]高精度差动式多层环形电容测微仪

摘要

本发明公开一种高精度差动式多层环形电容测微仪，包括有金属外壳、动电容体以及两静电容体；动电容体的左右两端均形成有多个同心的电容动极板，动电容体连接有金属导向轨，金属导向轨与金属外壳直接配合接触，金属导向轨的末端伸出金属外壳并与一测头连接；一静电容体的右端和另一静电容体的左端均形成有多个同心的电容静极板，两静电容体上的电容静极板与动电容体两端对应的电容动极板相互嵌套，藉此，使得电容静极板与对应的电容动极板组成多组环状并联电容，多组环状并联电容的变化形态相同，各组差动变化累加，从而增大了微动时电容静极板与电容动极板之间的面积变化量，从而使得系统更具稳定性、抗干扰性，有效提高了测量精度和灵敏度。

主权项

一种高精度差动式多层环形电容测微仪，其特征在于：包括有金属外壳、动电容体以及两静电容体；该金属外壳接地，该动电容体和两静电容体均设置于金属外壳内；该动电容体的左右两端均形成有多个同心的电容动极板，动电容体连接有金属导向轨，金属导向轨与金属外壳直接配合接触，金属导向轨的末端伸出金属外壳并与一测头连接；一静电容体的左端安装有左绝缘导向静极板套，另一静电容体的右端安装有右绝缘导向静极板套，一静电容体的右端和另一静电容体的左端均形成有多个同心的电容静极板，两静电容体上的电容静极板与动电容体两端对应的电容动极板相互嵌套，电容静极板与对应的电容动极板组成多组环状并联电容，该多组环状并联电容的变化形态相同，各组差动变化累加，以及，两静电容体连接有屏蔽电缆，该屏蔽电缆穿过金属外壳与电容信号处理电路连接，电容信号处理电路连接差动放大电路。