[发明专利]一种多晶石英陶瓷坩埚及其制备方法

摘要

本发明提供了一种多晶石英陶瓷坩埚及其制备方法。本发明提供的多晶石英陶瓷坩埚的内壁设有涂层；所述涂层包括粒径为10μm～150μm的石英砂。本发明采用带有粒径为10μm～150μm的石英砂涂层的石英陶瓷坩埚进行多晶硅铸锭，可有效减少石英陶瓷坩埚内部杂质元素向硅锭内部扩散，提高硅锭少子寿命，减少硅锭的红区宽度，减少硅片制成电池片后EL检测黑边比例，提高其光电转化效率，从而使得石英陶瓷坩埚可以更好地满足实际生产的需要。实验结果表明采用本发明提供的多晶石英陶瓷坩埚制备的多晶硅铸锭的红区宽度可降至10mm以下，甚至可降至0mm。

主权项

一种多晶石英陶瓷坩埚的制备方法，包括以下步骤：将3份粒径大于150μm、纯度不低于99.99％的石英砂颗粒放入球磨机中，再加入2份高纯水，混合球磨8小时，得到粒径10μm～80μm石英砂的浆料，浆料粘度为125mPa.s；所述高纯水的电导率小于2s/cm；将1份球磨出的浆料、1/5份陶瓷粘接剂和1份粒度为70μm～150μm的石英砂混合并搅拌1小时，使其混合均匀， 将石英陶瓷裸埚置于加热器上进行加热，当石英陶瓷裸埚被加热至50℃时，采用喷刷的方式喷在石英陶瓷裸埚内壁，喷涂的涂层厚度在1400μm，再使其自然干燥1小时，得到多晶石英陶瓷坩埚。