[发明专利]利用SiO2膜测量微纳长度的系统及方法

摘要

本发明公开了利用SiO2膜测量微纳长度的系统及方法，光源(1)在透镜(2)的上方，倾斜的指示光栅分光板(3)和标尺光栅分光板(12)在透镜(2)的下方，指示光栅SiO2膜(4)和标尺光栅SiO2膜(5)分别在指示光栅分光板(3)和标尺光栅分光板(12)的下方，指示光栅分光板(3)、标尺光栅分光板(12)和光敏元件阵(11)依次排列，光敏元件阵(11)、辨向电路(9)和计算机(8)通过电线(10)依次连接；标尺光栅SiO2膜(5)固定在工作台(6)上，压电陶瓷(7)靠在工作台(6)的侧面。本发明用于SiO2膜的厚度的测量中检验光的波长和测量SiO2膜的厚度，还用于微纳制造中测量工作台的微纳长度的移动量。

主权项

利用SiO2膜测量微纳长度的系统，其特征在于：利用SiO2膜测量微纳长度的系统包括光源(1)、透镜(2)、指示光栅分光板(3)、指示光栅SiO2膜(4)、标尺光栅SiO2膜(5)、工作台(6)、压电陶瓷(7)、计算机(8)、辨向电路(9)、电线(10)、光敏元件阵(11)和标尺光栅分光板(12)；光源(1)在透镜(2)的上方，光源(1)通过光线(13)与透镜(2)连接；倾斜的指示光栅分光板(3)和标尺光栅分光板(12)在透镜(2)的下方，透镜(2)通过光线(13)分别与指示光栅分光板(3)和标尺光栅分光板(12)连接；指示光栅SiO2膜(4)和标尺光栅SiO2膜(5)分别在指示光栅分光板(3)和标尺光栅分光板(12)的下方，指示光栅SiO2膜(4)通过光线(13)与指示光栅分光板(3)连接，标尺光栅SiO2膜(5)通过光线(13)与标尺光栅分光板(12)连接；指示光栅分光板(3)、标尺光栅分光板(12)和光敏元件阵(11)依次排列，光线(13)将指示光栅分光板(3)、标尺光栅分光板(12)和光敏元件阵(11)依次连接；光敏元件阵(11)、辨向电路(9)和计算机(8)通过电线(10)依次连接；标尺光栅SiO2膜(5)固定在工作台(6)上，压电陶瓷(7)靠在工作台(6)的侧面。