[发明专利]监测传输线脉冲静电放电测试响应的方法和系统有效
| 申请号： | 201510121166.3 | 申请日： | 2015-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN104678270B | 公开（公告）日： | 2017-06-16 |
| 发明（设计）人： | 赖灿雄;肖庆中;尧彬;路国光;曾畅;郝立超 | 申请（专利权）人： | 工业和信息化部电子第五研究所 |
| 主分类号： | G01R31/12 | 分类号： | G01R31/12 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 周清华 |
| 地址： | 510610 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种监测传输线脉冲静电放电测试响应的方法及系统，在TLP测试系统将不同脉冲电压的传输线脉冲施加到电子元器件的同时，光发射显微镜采集各传输线脉冲放电过程的光发射图像，从而在测试结束时，将各光发射图像与光学反射像叠加，精确定位电子元器件的静电放电通道和损伤点。本发明实现了传输线脉冲静电放电测试过程中电致发光现象的实时监测，便于在静电放电测试过程中明确电子元器件内部的静电放电通道，及时发现并准确定位静电放电的损伤点，从而确定产品抗静电薄弱环节。另外，本发明试验信息利用充分，试验步骤简单，可为电子元器件的静电损伤研究和ESD设计改进提供良好的技术支撑，具有良好的工程应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 监测 传输线 脉冲 静电 放电 测试 响应 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种监测传输线脉冲静电放电测试响应的方法，其特征在于，包括步骤：通过光发射显微镜采集待测电子元器件的光学反射像；通过TLP测试系统施加传输线脉冲到所述待测电子元器件；通过光发射显微镜采集所述传输线脉冲放电过程的光发射图像；通过TLP测试系统测量施加所述传输线脉冲后所述待测电子元器件管脚间的漏电流；若所述漏电流大于等于预设阈值，或者所述传输线脉冲达到设定的最大脉冲电压，结束测试；若所述漏电流小于预设阈值且所述传输线脉冲未达到所述最大脉冲电压，增加所述传输线脉冲的脉冲电压，得到新的传输线脉冲，返回通过TLP测试系统施加传输线脉冲到所述待测电子元器件的步骤；将采集的各光发射图像与所述光学反射像叠加，定位所述待测电子元器件的静电放电通道和损伤点。
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