[发明专利]散射X线除去用滤波栅的制造方法

摘要

本发明的课题之一在于提供能够简易且廉价地制造1次X线的透射特性优异的散射X线除去用滤波栅的制造方法。解决手段之一是，在贯通图案成形工序中，通过对树脂基板GS照射同步加速光束，成形形成了以规定间隔配置有多个6角形状单位贯通部H的贯通图案的一次加工基板。接着，在无电解镀敷处理工序中，通过在含有具备X线吸收性的金属(Au)的无电解镀敷溶液中浸渍该一次加工基板，在单位贯通部H之间的连结部分B的表背面及单位贯通部H的内面形成无电解金镀敷层。

主权项

散射X线除去用滤波栅的制造方法，制造经由X线吸收部在XY平面上向X方向及Y方向以规定间隔排列有X线透射部的散射X线除去用滤波栅，其特征在于，包含：经由具有用于形成X线吸收部和X线透射部的规定的图案的光掩模对设于支承基板的表面的感光性树脂层曝光同步加速器辐射光的工序；接着，将相当于X线吸收部的图案区域的树脂层除去而制作X线吸收部形成用槽部的槽图案，得到一次加工体的工序；之后，将所述一次加工体浸渍于含有金属的无电解镀敷溶液中，由此在所述X线吸收部形成用槽部填充所述金属而形成金属填充部之后，将处于非金属填充部的残渣树脂除去，形成作为X线透射部的空隙部，由此得到二次加工体的工序；接着，将所述空隙部的内壁和所述金属填充部的露出表面壁用X线吸收性的金属膜覆盖，形成X线吸收部的工序；所述X线透射部是由多角柱状体或者多角锥体状的单位贯通部、或者圆形状单位贯通部构成的空隙空间，所述X线吸收部形成连结的一体构造，将所述X线吸收部设为作为构造体的芯的部分和覆盖该芯的部分的外表部分的二片结构，使一举形成1次X线透射的X线透射部的长度非常长的结构成为可能，所述芯的部分和所述外表部分的至少任一方为X线吸收性，所述一次加工体中相邻的单位贯通部之间的边界隔壁的宽度为10～30μm，所述无电解镀敷溶液包含在溶液中生成金属离子M的化合物和还原剂，进行人体的X线拍摄的情况下，从X线源对人体照射1次X线，未散射的几乎所有1次X线透射X线透射部到达X线检测器，另一方面，1次X线的一部分在人体之中进行散射且方向发生变化，该散射X线与X线吸收部的壁面碰撞，因碰撞而散射X线被X线吸收部吸收，未到达X线检测器，其结果，能够除去散射X线。