[发明专利]异向性量测系统、异向性量测方法及其校正方法

摘要

本发明揭露一种异向性量测系统、异向性量测方法及其校正方法，异向性量测系统包括：径向起偏器，将入射光的偏振方向转变为径向；无偏振分光器，入射光部分穿透其穿透反射面形成部分入射光；物镜，将部分入射光聚焦至待测样品，并接收反射自待测样品的反射光后入射至穿透反射面；检偏器，接收反射光并产生输出光，输出光的偏振方向被转变为检偏器的穿透轴的方向；影像检测器，接收输出光并产生待测样品反射光强度分布图；以及运算处理器，根据待测样品反射光强度分布图求出的待测样品反射光强度分布曲线，并藉由修正琼斯运算模型拟合待测样品反射光强度分布曲线求得异向性。

主权项

1.一种异向性量测系统，其特征在于，包括：一径向起偏器，将一光源产生的一入射光的偏振方向转变为径向；一无偏振分光器，具有一穿透反射面，该入射光部分穿透该穿透反射面而形成一部分入射光；一物镜，接收该部分入射光，将该部分入射光聚焦至一待测样品，并接收反射自该待测样品的具有椭圆偏振的一反射光后平行入射至该穿透反射面；一检偏器，接收反射自该穿透反射面的该反射光并产生一输出光，该输出光的偏振方向被转变为该检偏器的一穿透轴的方向；一影像检测器，接收该输出光并产生形状近似为圆的一待测样品反射光强度分布图；以及一运算处理器，根据该待测样品反射光强度分布图求出一待测样品反射光强度分布曲线，并藉由一修正琼斯运算模型拟合该待测样品反射光强度分布曲线以求得该待测样品的异向性。