[发明专利]应用于炉管设备一致性分析的查询系统及查询方法在审
| 申请号： | 201510128816.7 | 申请日： | 2015-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN104731904A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 孙天拓;冯炳康 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/30 | 分类号： | G06F17/30 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于炉管设备一致性分析的查询系统，包括：数据库，用于记录各所述炉管设备内全部批次的晶圆所经过的事件信息以及在各所述炉管设备中的位置信息；界面生成模块，用于提供查询界面以输入查询条件；查询模块，用于根据所述查询条件访问所述数据库以在所述数据库记录的信息中执行查询操作；以及报表生成模块，根据查询结果生成第一报表和第二报表，所述第一报表记录符合查询条件的晶圆的事件信息以及在其所处炉管设备中的位置信息，所述第二报表记录符合查询条件的晶圆所处的炉管设备内全部批次的晶圆的位置信息。本发明无需逐批逐机台查看日志及手动输入即可高效和准确地对晶圆所经过的炉管设备/腔体信息进行汇总。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 炉管 设备 一致性 分析 查询 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种应用于炉管设备一致性分析的查询系统，其特征在于，包括：数据库，用于记录各所述炉管设备内全部批次的晶圆所经过的事件信息以及在各所述炉管设备中的位置信息；界面生成模块，用于提供查询界面以输入查询条件；查询模块，用于根据所述查询条件访问所述数据库以在所述数据库记录的信息中执行查询操作；以及报表生成模块，根据查询结果生成第一报表和第二报表，所述第一报表记录符合所述查询条件的晶圆的事件信息以及在其所处炉管设备中的位置信息，所述第二报表记录符合所述查询条件的晶圆所处的炉管设备内全部批次的晶圆的位置信息。
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