[发明专利]一种金刚石表面镀碳化钛的制作方法在审
| 申请号： | 201510132723.1 | 申请日： | 2015-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104805401A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 刘建设;郭松;孟为民;曹河周;刘拾霞;刘超超;王飞山 | 申请（专利权）人： | 河南黄河旋风股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 461500 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及金刚石表面处理技术领域，是一种金刚石表面镀碳化钛的制作方法，它包括以下步骤：a、抽真空，首先将金刚石置于真空离子镀膜机的镀膜室中，将镀膜室抽真空至3×10-3Pa以下；b、金刚石表面清洁，要求电压：390-410V、直流电流：1.2-1.4A、真空度：3*10-2Pa、离子源： 4.8-5.2KV离子源、偏转电压：90-110V、时间：5-10分钟；c、金刚石表面镀膜，阴极：钛金属材料（纯度为99.99%）等，这样的方法具有金刚石碳化钛镀膜容易实现、镀膜稳定、镀膜坚实的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 表面 碳化 制作方法 | ||
【主权项】：
一种金刚石表面镀碳化钛膜的制作方法，它在金刚石真空镀膜机中进行，它包括以下步骤：a、抽真空首先将金刚石置于真空离子镀膜机的镀膜室中，将镀膜室抽真空至3×10‑3Pa以下；b、金刚石表面清洁电压：390—410V直流电流：1.2‑1.4A真空度：3*10‑2Pa离子源： 4.8—5.2KV离子源偏转电压：90—110V时间：5‑10分钟c、金刚石表面镀膜阴极：钛金属材料（纯度为99.99%）阳极极：金刚石粉体电压： 440—460V脉冲电流： 0.8A ‑ 1.0A乙炔流量： 5‑6sccm偏转电压： 180‑220V高纯氩气流量：15sccm工作时间： 180分钟—200分钟温度： 温度280——320℃移动方式： 金刚石粉移动经过上述步骤处理后可以得到表面具有树脂膜结构金刚石。
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