[发明专利]一种金刚石表面镀钛铝膜的制作方法在审
| 申请号： | 201510132724.6 | 申请日： | 2015-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104762603A | 公开（公告）日： | 2015-07-08 |
| 发明（设计）人： | 刘建设;郭松;孟为民;王飞山;刘超超;刘拾霞;曹河周 | 申请（专利权）人： | 河南黄河旋风股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 461500 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及金刚石表面处理技术领域，名称是一种金刚石表面镀钛铝膜的制作方法，它在金刚石真空镀膜机中进行，它包括以下步骤：a、抽真空：首先将金刚石置于真空离子镀膜机的镀膜室中，将镀膜室抽真空至3×10-3Pa；b、排残留空气：通入高纯氩气，排空残留空气；c、洗涤：将金刚石真空镀膜机设置成下列参数对金刚石表面进行洗涤；电压：390-410V；直流电流：1.2-1.4A；真空度：3×10-2Pa；离子源：开启5KV离子源；偏转电压：90-110V；时间：5-10分钟；d、镀膜，具有金刚石钛铝镀膜容易实现、镀膜稳定、镀膜坚实的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 表面 镀钛铝膜 制作方法 | ||
【主权项】：
一种金刚石表面镀钛铝膜的制作方法，它在金刚石真空镀膜机中进行，它包括以下步骤：a、抽真空首先将金刚石置于真空离子镀膜机的镀膜室中，将镀膜室抽真空至3×10‑3Pa；b、排残留空气通入高纯氩气，排空残留空气；c、洗涤将金刚石真空镀膜机设置成下列参数对金刚石表面进行洗涤；电压：390‑410V；直流电流：1.2‑1.4A；真空度：3×10‑2Pa；离子源：开启5KV离子源；偏转电压：90‑110V；时间：5‑10分钟；d、镀膜阴极：钛金属材料（纯度为99.99%）+高纯铝双靶材或钛50%铝50%合金单靶材；阳极：上述步骤c中得到的金刚石粉体；电压： 450V；脉冲电流： 1.0A ‑ 1.2A；偏转电压： 100V；高纯氩气流量：15毫升／秒；工作时间： 21600秒～28800秒；温度： 无需加热；移动方式： 金刚石粉移动。
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