[发明专利]一种高温合金表面高温绝缘涂层的制备方法

摘要

本发明公开一种高温合金表面高温绝缘涂层的制备方法，步骤1)将高温合金基片表面预处理；2)在高温合金基片表面沉积一层Ti金属层；3)在Ti金属层上继续沉积一层Al金属层；4)将高温合金基片表面的Al金属层完全氧化，直至氧化部分Ti金属层；5)选用高温绝缘材料对氧化后的涂层表面进行多次封孔处理，将涂层中的孔洞填充；6)在表面涂层上溅射Al2O3，将表面涂层中剩余的缝隙填充；7)将高温合金基片热处理，使涂层中Al2O3的晶型向α—Al2O3转化。本发明能以更高的效率制备一种在高温下仍具有较好绝缘性的涂层，结合牢固，且制备工艺更为灵活。

主权项

一种高温合金表面高温绝缘涂层的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：1)将高温合金基片表面打磨平整，并依次用丙酮、酒精、去离子水超声清洗干净，烘干；2)采用磁控溅射技术在经过步骤1)处理的高温合金基片表面沉积一层Ti金属层，所得到的Ti金属层厚度为1μm以上；3)在Ti金属层上继续沉积一层Al金属层，所得到的Al金属层厚度为1μm以上；4)将高温合金基片表面Al金属层完全氧化，直至氧化部分Ti金属层；5)选用高温绝缘材料对氧化后的涂层表面进行多次封孔处理，将涂层中的孔洞填充，提高绝缘性；6)采用磁控溅射技术在经步骤5)处理后的表面涂层上溅射Al2O3，将表面涂层中剩余的缝隙填充；7)将步骤6)中制备好的高温合金基片放入马弗炉，在800～1200℃热处理，使表面涂层中Al2O3的晶型向α—Al2O3转化。