[发明专利]一种三轴压电加速度计有效
| 申请号： | 201510134575.7 | 申请日： | 2015-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104764904B | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 郭航;王建艳 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18;G01P15/09 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙)35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种三轴压电加速度计，涉及加速度计。提供可提高加速度计灵敏度，增加其频率带宽的一种三轴压电加速度计。设有质量块，质量块为八边柱体，在质量块的两对称边上设有左梁、右梁、前梁和后梁，各梁均为长方体，在左梁上表面设有对称分布的4个压电片，在右梁上表面设有对称分布的4个压电片，在前梁上表面设有对称分布的4个压电片，在后梁上表面设有对称分布的4个压电片，各压电片的上方和下方均设有金属电极；质量块与左梁、右梁、前梁和后梁为一体结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 加速度计 | ||
【主权项】：
一种三轴压电加速度计，其特征在于设有质量块，质量块为八边柱体，在质量块的两对称边上设有左梁、右梁、前梁和后梁，各梁均为长方体，在左梁上表面、右梁上表面、前梁上表面和后梁上表面均设有对称分布的4个压电片，各压电片的上方和下方均设有金属电极；质量块与左梁、右梁、前梁和后梁为一体结构；在质量块上表面和下表面均沉积氮化硅薄膜；质量块厚度为300～700μm，质量块的边长为8000～12000μm；各梁的长度均为7600～11600μm，各梁的宽度均为1500～2500μm，各梁的厚度均为20～50μm，各梁的长度均为9600μm，宽度均为1600μm，厚度均为25μm；各压电片均采用PZT材料，具体成分为PbZr0.52Ti0.48O3，各压电片的厚度为3～15μm，各压电片的宽度比梁宽度的一半少50μm，各压电片的长度比梁长度的一半少50μm；压电片之间的距离为100μm。
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