[发明专利]微波微等离子体电子源在审
| 申请号： | 201510136907.5 | 申请日： | 2015-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104752147A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 唐佳丽;于新海;涂善东;明小祥;于伟 | 申请（专利权）人： | 华东理工大学 |
| 主分类号： | H01J49/08 | 分类号： | H01J49/08;H01J49/26;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙) 31230 | 代理人： | 章鸣玉 |
| 地址： | 200237 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种微波微等离子体电子源，所述微等离子体电子源为硅-玻璃双层结构，下层为硅基底，上层为玻璃；所述等离子体腔室、电子加速透镜、电子聚焦透镜、能量过滤器和检测器在硅基底上通过深硅刻蚀工艺形成，再与玻璃键合形成所述微等离子体电子源。所述微波微等离子体电子源，先用高压陶瓷装置给予氩气高电压激励，并采用三开路支节结构的微带谐振器将2.4～2.5GHz频率，1W的微波功率耦合给氩气，形成稳定等离子体，通过电子引出、加速、聚焦系统将电子引出并加速聚焦成目标电子能量；电子引出、加速、聚焦系统的所加持电压决定了通入离子源的电子束能量的大小进一步决定微型质谱仪可检测物质的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 电子 | ||
【主权项】：
微波微等离子体电子源，依次包括等离子体腔室(5)、电子加速透镜(12)、电子聚焦透镜(11)、能量过滤器(9)和检测器(8)，其特征在于：所述微等离子体电子源为硅‑玻璃双层结构，下层为硅基底，上层为玻璃；所述等离子体腔室(5)、电子加速透镜(12)、电子聚焦透镜(11)、能量过滤器(9)和检测器(8)在硅基底上通过深硅刻蚀工艺形成，再与玻璃键合形成所述微等离子体电子源。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华东理工大学;，未经华东理工大学;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510136907.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种沟槽刻蚀方法及刻蚀装置
- 下一篇：一种等离子体处理装置及其运行方法
