[发明专利]光束分析仪以及激光加工装置

摘要

提供能够以更低的成本来判断是否适当地输出了激光的光束分析仪、激光振荡器以及激光加工装置。光束分析仪光束分析仪具备部分反射镜(24)、受光部(30、28、26)以及分别安装于该受光部(26、28、30)的激光强度传感器(50、52、54)。受光部(30、28、26)具有第一受光部(30)，其接收激光(22’)的激光照射区域(22a’)中的包括激光(22’)的光轴(O1)的第一区域(22b)的光；以及第二受光部(28)，其与第一受光部(30)热绝缘，接收激光照射区域(22a’)的与第一区域(22b)不同的第二区域(22c)的光。

主权项

一种光束分析仪，接收从激光振荡器射出的激光并测量该激光的强度分布，该光束分析仪具备：部分反射镜，其配置于从上述激光振荡器射出的上述激光的光路上；多个受光部，该多个受光部分别接收透过了上述部分反射镜的激光的激光照射区域中的各不相同的区域的光，该多个受光部具有第一受光部，该第一受光部配置为其中心与激光的光轴大致一致，并且该第一受光部接收上述激光的激光照射区域中的包括上述激光的中心部的区域的光；多个激光强度传感器，该多个激光强度传感器分别安装于上述多个受光部，来感知由该多个受光部各自接收到的上述激光的强度；以及光轴偏移判断部，其判断在来自安装于上述多个受光部的上述多个激光强度传感器的输出中，来自安装于上述第一受光部的上述激光强度传感器的第一输出是否是最大。