[发明专利]曲率测定装置以及曲率测定方法有效
| 申请号： | 201510137132.3 | 申请日： | 2015-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104949631B | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 秋田征人;家近泰 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 夏斌 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供曲率测定装置以及曲率测定方法，能够实现抑制不能测定曲率以及提高曲率测定精度。曲率测定装置(10)具备激光射出部(21)，射出激光；第一偏光分光器(22)，将射出的激光分离成偏光方向以及行进方向分别不同的第一激光(L1)以及第二激光(L2)；反射镜(23)，反射第一激光，以使第一激光以及第二激光并行地朝测定对象物即基板(W)行进；第二偏光分光器(10d)，使由基板镜面反射的第二激光透射，将由基板镜面反射的第一激光朝与第二激光不同的方向反射；一维的第一位置检测元件(10e)，检测反射的第一激光的入射位置；以及一维的第二位置检测元件(10f)，检测由基板镜面反射的第二激光的入射位置。 | ||
| 搜索关键词： | 曲率 测定 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种具有射出激光的光射出部的曲率测定装置，其特征在于，还具备：第一偏光分光器，将由所述光射出部射出的所述激光分离成偏光方向以及行进方向分别不同的第一激光以及第二激光；反射部，对所述第一激光以及所述第二激光中的任一方进行反射，以使所述第一激光以及所述第二激光并行地朝测定对象物行进；第二偏光分光器，使由所述测定对象物镜面反射的所述第一激光以及所述第二激光中的任一方透射，将另一方朝与该一方的行进方向不同的方向反射；一维的第一位置检测元件，对由所述第二偏光分光器反射或者透射了所述第二偏光分光器的所述第一激光的入射位置进行检测；以及一维的第二位置检测元件，对透射了所述第二偏光分光器或者由所述第二偏光分光器反射的所述第二激光的入射位置进行检测。
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