[发明专利]脆性材料基板的搬送方法及搬送装置有效
| 申请号： | 201510138030.3 | 申请日： | 2015-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN105035761B | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 太田欣也;时本育往;黑田直洋;礒嶌聪 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/05 | 分类号： | B65G49/05;B65G47/91 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本申请的发明涉及一种脆性材料基板的搬送方法及搬送装置。其课题在于沿着纵向及横向整齐排列功能区域，并通过裂断以消除树脂层后准确地搬送基板。搬送头(13)是利用线性滑块(12)而沿着梁(11)搬送。在搬送头(13)的下部设置着头部(40)。在头部(40)的下表面具有底板(41)及弹性片(42)，它们具有连通的多个开口。而且，通过驱动连接在头部(40)的抽风器而吸引基板(20)，并利用线性滑块(12)使搬送头(13)移动而进行搬送。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性 材料 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种脆性材料基板的搬送方法，其是搬送脆性材料基板的搬送方法，所述脆性材料基板在一面具有沿着纵向及横向以规定的间距形成的功能区域，且涂布着树脂，且沿着以所述功能区域位于中心的方式形成为格子状的划线而裂断，仅所述脆性材料基板的部分沿着所述划线分断，所述树脂的层保持原状残留，使用抽风器从搬送头的开口以空气始终从所述开口流入所述搬送头的内部的方式吸入空气，吸引所述脆性材料基板的包含形成为格子状的功能区域的区域，通过使所述搬送头移动，而搬送所述脆性材料基板。
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