[发明专利]一种高精度的曝光装置在审
| 申请号： | 201510139151.X | 申请日： | 2015-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN104808449A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 张梦莹 | 申请（专利权）人： | 南京市雨花台区知识产权促进中心 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210012 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度的曝光装置，所述的高精度的曝光装置包括机台、自动传输装置、菲林支架、水平仪和固定槽，所述的自动传送装置安装在机台上，所述的固定槽置于自动传送装置上，所述的菲林支架固定在机台的某段，所述的水平仪在菲林支架区域的正下方的机台下。本发明在封闭环境中，利用水平仪调节菲林支架，直至被放置在菲林支架上的菲林平行于被曝光的ITO玻璃，使曝光源充分垂直投射被曝光物，达到彻底曝光的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种高精度的曝光装置，其特征在于：所述的高精度的曝光装置包括机台、自动传输装置、菲林支架、水平仪和固定槽，所述的自动传送装置安装在机台上，所述的固定槽置于自动传送装置上，所述的菲林支架固定在机台的某段，所述的水平仪在菲林支架区域的正下方的机台下。
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