[发明专利]一种半导体器件瞬态电容的测试方法和系统在审
| 申请号： | 201510139962.X | 申请日： | 2015-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN104730344A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 吴京锦;赵策洲;刘晨光 | 申请（专利权）人： | 西交利物浦大学 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体器件瞬态电容的测试系统，包括信号发生模块、信号放大模块、信号录制模块和计算机；所述信号发生模块用于发出周期大于20us，幅值为100-300mv，电压变化率小于33333V/S的脉冲电压信号；所述信号放大模块用于将被测材料输出的电流信号经放大后转化为电压信号；所述信号录制模块用于录制信号放大模块输出的电压信号，绘制电压曲线，通过电压曲线计算瞬态电容；所述计算机安装有电子仪器控制环境，用于控制和处理数据。通过实验室普遍拥有的仪器实现半导体器件的高精度瞬态电容谱测量及绘制系统，并通过程序自动控制的方法，控制测试系统自动得到测量数据，提高瞬态电容的测试极限。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体器件 瞬态 电容 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种半导体器件瞬态电容的测试系统，其特征在于，包括信号发生模块、信号放大模块、信号录制模块和计算机；所述信号发生模块用于发出周期大于20us，幅值为100‑300mv，电压变化率小于33333V/S的脉冲电压信号；所述信号放大模块用于将被测材料输出的电流信号经放大后转化为电压信号；所述信号录制模块用于录制信号放大模块输出的电压信号，绘制电压曲线，通过电压曲线计算瞬态电容；所述计算机安装有电子仪器控制环境，用于控制和处理数据。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西交利物浦大学;，未经西交利物浦大学;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510139962.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光伏发电逆变器并网测试装置
- 下一篇：一种具有多级混频器的频谱分析仪
