[发明专利]大行程高分辨率驱动器系统在审
| 申请号： | 201510140938.8 | 申请日： | 2015-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN104898413A | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 张东亚;钱晋武;章亚男;沈林勇;王成刚 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 陆聪明 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大行程高分辨率驱动器系统，其由机械驱动部分、数据采集部分和计算机控制部分三部分组成，机械驱动部分包括伺服电机等元件，伺服电机与电机支座固定，伺服电机的输出轴通过联轴器与滚珠丝杆相连接，滚珠丝杆穿过轴承座，丝杆螺母与螺母套的一端固定在一起，螺母套的另一端与角板固定在一起，角板固定在滑台组件上面，角板的一侧安装有顶杆，伺服电机的旋转运动能够最终转换为顶杆的直线运动；数据采集部分包括相互连接的双频激光干涉仪和数据采集卡AD口，计算机控制部分包括相互连接的工业计算机和数据采集卡DA口。本发明移动范围较大，通过初步搭建的实验平台已经能够实现100nm的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 行程 高分辨率 驱动器 系统 | ||
【主权项】：
一种大行程高分辨率驱动器系统，其特征在于，其由机械驱动部分、数据采集部分和计算机控制部分三部分组成，机械驱动部分包括伺服电机、电机支座、联轴器、轴承座、滚珠丝杆、丝杆螺母、螺母套、角板、滑台组件，伺服电机与电机支座固定，伺服电机的输出轴通过联轴器与滚珠丝杆相连接，滚珠丝杆穿过轴承座，丝杆螺母与螺母套的一端固定在一起，螺母套的另一端与角板固定在一起，角板固定在滑台组件上面，角板的一侧安装有顶杆，伺服电机的旋转运动能够最终转换为顶杆的直线运动；数据采集部分包括相互连接的双频激光干涉仪和数据采集卡AD口，计算机控制部分包括相互连接的工业计算机和数据采集卡DA口。
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