[发明专利]一种利用玻璃掺杂钆靶获得高光谱纯度极紫外光源的方法

摘要

极紫外光源(输出波长在5‑50 nm之间)在诸多领域有着非常重要的应用。本发明公开了一种利用玻璃掺杂钆（或钆化合物）靶获得高光谱纯度6.7nm极紫外光源的方法，这种方法有效压缩光谱宽度，降低离带热，有效防止多层膜光收集镜损伤的技术，大幅度提升了光源质量，并且本方法工艺简单、效果显著、成本低廉，有利于直接生产应用。

主权项

1.一种利用玻璃掺杂钆靶获得高光谱纯度极紫外光源的方法，其特征在于，在玻璃中掺入钆或含钆元素化合物的方式制作激光靶材料，靶材中钆元素摩尔百分比含量为0.1％—99％中的任意值，利用激光聚焦诱导靶表面产生高光谱纯度的6.7nm极紫外光辐射，这种方法获得的优化光源应用于芯片制造、吸收光谱研究设备以及极紫外显微成像领域；钆或钆化合物玻璃掺杂方式包括多孔质SiO2浸润法、溶胶‑凝胶掺杂法、气相沉积法、粉体掺杂中的至少一种方式；掺杂靶使用后，仅需把激光烧蚀过的表面进行机械抛光，抛光深度高于烧蚀深度即可重新使用；使用激光辐照固体靶产生6.7nm极紫外光源时，将聚焦透镜放置于真空腔外，激光单脉冲能量为200mJ，激光经焦距为400mm的聚焦透镜聚焦于靶材表面。