[发明专利]压电元件、液体喷射头、液体喷射装置和传感器有效
申请号: | 201510141449.4 | 申请日: | 2015-03-27 |
公开(公告)号: | CN104943385B | 公开(公告)日: | 2017-06-09 |
发明(设计)人: | 古林智一;两角浩一 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14;B41J2/135;B41J2/01 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 苗堃,金世煜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供使用可减小电压下降对施加电压的影响的晶种层而能够使压电体层在(100)面优选取向并且能够提高位移量的压电元件、具备压电元件的液体喷射头、液体喷射装置以及传感器。压电元件(300)具备第1电极(60)、隔着晶种层(65)设置于第1电极(60)的压电体层(70)以及设置于压电体层(70)的第2电极(80),晶种层(65)由具有钙钛矿结构且A位点含有铋、B位点含有铁和钛的在(100)面优先取向的复合氧化物构成,压电体层(70)由具有钙钛矿结构且在(100)面优先取向的压电材料构成,晶种层(65)的厚度小于20nm。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 液体 喷射 装置 传感器 | ||
【主权项】:
一种压电元件,其特征在于,具备第1电极、隔着晶种层设置于所述第1电极的压电体层以及设置于所述压电体层的第2电极,所述晶种层由具有钙钛矿结构且A位点含有铋、B位点含有铁和钛的在(100)面优先取向的复合氧化物构成,所述压电体层由具有钙钛矿结构且在(100)面优先取向的压电材料构成,所述晶种层的厚度小于20nm。
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