[发明专利]一种硅片脱胶剂、其制造方法和使用方法在审
| 申请号： | 201510141671.4 | 申请日： | 2015-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN104862134A | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 洪育林;张旭;张震;张冠;刘辉 | 申请（专利权）人： | 武汉宜田科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C11D10/02 | 分类号： | C11D10/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 438400 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种硅片脱胶剂，其含有如下重量份数的组分，有机酸20～60％；表面活性剂0.5～5％；有机溶剂5～40％；水15～75％；缓蚀剂0～2％；消泡剂0～2％。本发明提供了一种脱胶速度快、无刺激性气味、成本低、腐蚀性弱而且能够有效的降低破片崩边率、对下道清洗工序提供优良预清洗效果的硅片脱胶剂，以解决现有脱胶剂的脱胶效果差、脱胶成本高且腐蚀性强的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 脱胶 制造 方法 使用方法 | ||
【主权项】：
一种硅片脱胶剂，其特征在于：其含有如下重量份数的组分，![]()
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