[发明专利]一种高效、节能金属图形线路速成的EPT在审
| 申请号： | 201510141877.7 | 申请日： | 2015-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN104733359A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 王春 | 申请（专利权）人： | 王春 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H05K3/10 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 226300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高效、节能金属图形线路速成的EPT，包括便新型定位印刷机台、图形线路网版、环保掩膜胶体和PVD真空溅镀技术的结合；使用时，把基板放在定位印刷机台的定位平台上，通过微调平台的校准，使图形线路网版与基板相适合，通过刮刀把网版上的环保掩膜胶体均匀覆盖在与图形线路无关区域的基板表面，经过低温固化，使胶体在基板表面形成薄膜层，通过PVD真空溅镀技术，在基板表面未有环保掩膜胶体层的区域产生金属层，由于金属层和基板附着力很强，通过普通水源浸泡，环保掩膜薄膜层就会软化与基板脱离，基板表面形成金属图形线路；由此可知，本具有发明结构简单、效率高、安全可靠、实用性强、节能环保等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 节能 金属 图形 线路 速成 ept | ||
【主权项】：
一种高效、节能金属图形线路速成的EPT，包括新型定位印刷机台、图形线路网版、环保掩膜胶体和PVD真空溅镀技术的结合。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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